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- 发明人: 贾彩红,张宏杨,贾冬义 ( 河套学院 )
- 申请人: 河套学院
- 申请号: 202410262445.0
- 申请日期: 2024.03.07
- 摘要: 本发明涉及纳米材料技术领域,公开了一种基于化学气相沉淀法的纳米材料生长控制系统及方法,包括:气相反应控制模块,确保反应物和载气的流量比例和检测并实时调整反应气体的浓度;温度控制模块,控制反应室的温度,并根据反应情况实时调整反应室温度;反馈控制模块,使用传感器监测反应室中的参数,包括温度、气体流量,并